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MOCVD技術(shù)在光電薄膜中的應(yīng)用

MOCVD技術(shù)在光電薄膜中的應(yīng)用

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級(jí)別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80789 | 大。22.50KB | 下載:4468 次 | 上傳:2013-09-29

簡(jiǎn)介:

MOCVD技術(shù)在半導(dǎo)體材料和器件及薄膜制備方面取得了巨大的成功。盡管如此,MOCVD仍是一種發(fā)展中的半導(dǎo)體超精細(xì)加工技術(shù),MOCVD技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展將會(huì)給微電子技術(shù)和光電子技術(shù)帶來更廣闊的前景。

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