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薄膜的物理氣相沉積(一)-蒸發(fā)法

薄膜的物理氣相沉積(一)-蒸發(fā)法

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級(jí)別:| 積分:100 分 | 瀏覽:81147 | 大。1.40MB | 下載:4490 次 | 上傳:2013-09-05

簡(jiǎn)介:

在真空環(huán)境下,給待蒸發(fā)物質(zhì)提供足夠的熱量以獲得蒸發(fā)所必須的蒸汽壓,在適當(dāng)?shù)臏囟认,蒸發(fā)粒子在基片上凝結(jié)形成薄膜。

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